凈化工程無塵車間排風裝置的分類及處理設備
      在微電子生產用無塵車間和藥品生產用無塵車間中，常常會在產品生產過程中使用或產生某些特定的酸性或堿性物質、有機溶劑和氣體;在致敏性藥物、某些甾體藥物、高活性藥物和有毒性藥物生產過程中還會有相應的有害物質排出或滲人無塵車間內。對于上述無塵車間，在可能排出各種有害物質、氣體或粉塵的生產工藝設備或工序處應設置局部排風裝置或采取全室排風裝置。按生產工藝過程排出的廢氣的種類，可將排風裝置(系統)大體劃分為以下幾種類型:
      (1)一般排風系統在生產輔助用室和生活用室， 如值班室、衛生間等排出的一般廢氣，大多數情況下不需要進行特殊處理即可直接排人大氣。
      (2)有機氣體排風系統在產品生產中使用某些有機物質、溶劑作為原輔材料或清洗劑時，都將會在相關的場所或設備處散發有機物質、溶劑的氣體，對這類場所或設備均應設置排風裝置。在一.般情況下，有機排風系統中的有機氣體濃度是很低的，若能達到國家規定的大氣排放標準時，可直接排人大氣，不需設置廢氣處理裝置;當排風系統中有機氣體濃度超過規定時，應設有機氣體排放裝置，經過處理達標后才能排人大氣。有機氣體排氣的凈化處理方法有活性炭吸附法、吸收法和催化燃燒法等。活性炭吸附法主要用于中小流量的不含粉塵、膠粘物質的苯類和汽油類有機氣體排氣的處理;吸收法設備簡單，耗能低，但吸收效率不高;催化燃燒法主要用于較高濃度的苯類、醇類、脂類和汽油等有機氣體排氣的處理。有機氣體排氣處理裝置應根據排風系統所含有機物質的品種、濃度等情況選用。
        (3) 酸性氣體排風系統濕法化學腐蝕、 酸液清洗實驗室內均有酸性氣體排出，在這類酸性氣體的排風系統通常設有濕式洗氣吸收塔，處理后排人大氣，圖5-14所示是幾種吸收式洗氣塔的形式。實際設計時應根據酸性氣體的類型、濃度選用合適的吸收液和吸氣塔的形式。
      (4)堿性氣體排風裝置若排風系統氣體中含有堿性物質或排 氣中混有堿性化學試劑時，與酸性氣體排風系統類似，通常采用濕式洗氣吸收塔處理后排人大氣。近年來，由于大氣排放標準越來越嚴格，含有堿性物質(或酸性物質)濃度較低的排氣也應進行凈化處理才能達到排放標準。為此，可采用專用吸附劑對堿性排氣(或酸性排氣)進行處理達標后再排人大氣。此種吸附劑一般為- -次性的，使用后應進行集中處理,通常作為固體廢棄物在城市垃圾場集中處理。
      (5)熱氣體排風系統  生產過程中的各種爐子、高溫滅菌設備等均有熱氣排出，由于排氣溫度較高，有時可采用熱回收等方式進行處理，若排氣量較小或不便進行處理時，可在采取必要的隔熱措施后直接排人大氣。
      (6)含粉塵的排風系統產品品種不同，生產工藝過程不同，排氣中的粉塵性質也不同。應根據排氣中的粉塵性質、濃度選用不同類型的除塵裝置，一般采用布袋除塵器或帶過濾元件的過濾除塵裝置。如圖5-15所示是一種帶過濾元件的過濾除塵裝置，此類裝置都可以采取拍打反吹或更換過濾元件的方式，使除塵裝置能較長期地使用。對于某些含塵濃度很高的排風系統，根據工藝具體情況，有時尚需設置二級除塵裝置，先將大部分粉塵去除后再送人前述的布袋除塵或過濾除塵裝置，才能滿足大氣排放標準的要求，從而保證系統穩定，經濟地運行。